Metasurfaces sensitive to the orientation of the polarization plane of incident radiation

Abstract

В выпускной квалификационной работе описан полный цикл создания датчика угла поворота на основе наноструктурированной диэлектрической метаповерхности. В первой части работы рассматриваются теоретические аспекты, которые позволяют создать такой датчик. Вторая глава посвящена изготовлению диэлектрической метаповерхности с заданными параметрами с помощью техник фотолитографии. В третьей главе приведен анализ параметров полученной поверхности, выполненный с помощью современных методик, таких как сканирующая электронная микроскопия, сканирующая зондования микроскопия и рентгенопектральный микроанализ. Последняя глава посвящена поставке эксперимента по определению спектральных свойств метаповерхности. Главным выводом работы является успешная демонстрация возможности использования метаповерхности в качестве шкалы датчика угла поворота, размеры которого на порядок меньше минимальных размеров современных датчиков угла поворота.

The graduation thesis describes the full cycle of creating a rotary encoder based on a nanostructured dielectric metasurface. The first part of the study discusses the theoretical aspects that allow of the creation of such a sensor. The second chapter is dedicated to the manufacturing of the dielectric metasurface with specified parameters using photolithography techniques. The third chapter presents an analysis of the parameters of the obtained surface, conducted using modern techniques, such as scanning electron microscopy, scanning probe microscopy, and X-ray microanalysis. The final chapter is dedicated to conducting an experiment to determine the spectral properties of the metasurface. The main result of the study is the successful demonstration of the possibility of using the metasurface as a scale of a rotary encoder, the size of which is an order of magnitude smaller than the minimum sizes of modern rotary encoders.